Kemična formula dušikovega trifluorida je NFXNUMX. Je plin brez barve, vonja in stabilen pri normalni temperaturi. Je močan oksidant. Dušikov trifluorid visoke čistosti ima odlično hitrost jedkanja in selektivnost ter je tudi zelo dobro čistilno sredstvo. Jinhong vam lahko zagotovi plin dušikov trifluorid visoke čistosti za izboljšanje vašega polprevodniškega postopka.
Dušik trifluorid se pripravi z neposrednim fluoriranjem amoniak. Lahko se ga pridobi tudi z elektrolizo staljenega amonijevega bifluorida ali z neposredno kombinacijo elementov dušika in fluora z uporabo električne razelektritve pri nizkih temperaturah.
Plin | Dušikov trifluorid |
CAS številka | 7783-54-2 |
Čistost | 99.99% |
Dušikov trifluorid se uporablja kot hitro selektivno jedkalo pri obdelavi silicija. Uporabljali so ga za jedkanje silicija, polisilicija, silicijevega nitrida in silicijevega oksida ter ognjevzdržnih kovin in silicidov.
Dušikov trifluorid se včasih uporablja kot vir fluora v kemičnih laserjih HF/DF. Dušikov trifluorid se uporablja kot sredstvo za fluoriranje. Dušikov trifluorid se uporablja tudi za obdelavo vlaken.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Vse pravice pridržane. - Varovanje osebnih podatkov|Pogoji uporabe|Blog