Heksafluoroetan

Heksafluoroetan je brezbarven, vnetljiv plin, ki je netopen v vodi, vendar topen v etanolu. Njegovo vrelišče je -78.2 °C, tališče -100.6 °C, kritična temperatura pa 19.7 °C. Heksafluoroetan se običajno uporablja za plin za plazemsko jedkanje v mikroelektronski industriji, kot tudi za čiščenje površin naprav, proizvodnjo optičnih vlaken in nizkotemperaturno hlajenje.