Fosforan je pomemben dopiran vir n-tipa v proizvodnji polprevodniških naprav, uporablja pa se tudi pri kemičnem naparjevanju polisilicija, epitaksialnem materialu GaP, postopku ionske implantacije, postopku MOCVD, pripravi pasivacijskega filma iz fosforjevega silicijevega stekla (PSG) in drugih postopkih.
mešanje
Kemijsko ime | Fosfin | vodik |
CAS številka | 7803-51-2 | 1333-74-0 |
Št. ZN | 1954 |
Opozorilna beseda: Nevarnost
Fizikalne in kemijske lastnosti
Agregatno stanje: plin.
Videz: Brezbarven.
Vonj: odbojen.
Mejna vrednost vonja: 0.51 ppm (PH3)
Temperatura samovžiga: 38 °C / 100 °F (fosfin)
Smrtno pri vdihavanju
Povzroča hude opekline kože in poškodbe oči
Zelo lahko vnetljiv plin
V stiku z zrakom se spontano vname
Vsebuje plin pod pritiskom; če se segreje, lahko eksplodira
Lahko tvori eksplozivne mešanice z zrakom
Simptomi so lahko zapozneli
Hraniti ločeno od vročine, isker, odprtega ognja, vročih površin.
Prepoved kajenja
Ne vdihavati plina.
Uporabljajte in shranjujte samo na prostem ali v dobro prezračenem prostoru
Nosite zaščitne rokavice, zaščitno obleko, zaščito za oči, zaščito za dihala in/ali zaščito za obraz
V cevovodih uporabite napravo za preprečevanje povratnega toka
Uporabite opremo, prečiščeno z inertnim plinom ali izpraznjeno pred izpustom iz jeklenke
Uporabljajte samo z opremo, izdelano iz združljivih materialov in ocenjeno za tlak v jeklenki
Ne odpirajte ventila, dokler ni priključen na opremo, pripravljeno za uporabo
Zaprite ventil po vsaki uporabi in ko je prazen
Ko vračate jeklenko, namestite neprepusten izstopni pokrov ventila ali čep
Zaščitite pred sončno svetlobo, ko temperatura okolice preseže 52 °C/125 °F
Hraniti v hladnem, suhem, dobro prezračevanem prostoru iz negorljive konstrukcije, ločeno od močnega
prometna območja in zasilne izhode.
Hraniti pri temperaturah pod 52°C / 125°F.
Jeklenke je treba hraniti pokonci z nameščenim zaščitnim pokrovom ventila in trdno pritrjenimi, da preprečijo padec.
Polne in prazne jeklenke je treba ločiti.
Uporabite sistem inventarja "prvi noter-prvi ven", da preprečite predolgo skladiščenje polnih jeklenk.
Shranjene posode je treba redno preverjati glede splošnega stanja in puščanja.
Zaželena je zunanja ali ločena shramba.
Copyright © Jinhong Gas Co., Ltd. Vse pravice pridržane. - Varovanje osebnih podatkov|Pogoji uporabe|Blog